二手 CANON FPA 5000 ES2 #293817781 待售

CANON FPA 5000 ES2是世界上精度和分辨率最高的超高精度晶圆步进器。它能够在最先进的几何形状和设计上捕捉半导体器件的亚微米模式。FPA 5000 ES2配备了CANON专有的超高分辨率照片映射设备（UHRM）,可实现0.25um （90nm）分辨率的精确成像,覆盖精度为0.1微米（30nm）。先进的光学设计和先进的高波纹透镜涂层，减少了像差，有效纠正了色差和lrfocus失真。高功率LED照明系统与优化的晶圆透镜和镜框紧密集成，确保精确曝光时间、可重复性和最佳成像效果。CANON FPA 5000所使用的高度精确可靠的直线电动机ES2允许晶圆级极精确且可重复的微动和暴露时间。电机驱动的晶片级对准0.02微米的精度，并自动进行自我调整，以确保精度和性能，无论轨道随时间的变化。FPA 5000 ES2还包含了CANON独特的自学控制单元,该单元可识别设备模式的特征并优化曝光以适合它们。这台创新的机器可以提供出色的图像均匀性和卓越的图像质量。晶圆步进器还具有用于协调半导体器件生产的先进自动化工具。该软件可以与当前的工厂系统集成，可以根据生产环境的具体需求进行定制。总体而言,CANON FPA 5000 ES2是生产最复杂的半导体器件和组件的理想工具。其先进的成像功能、精确的直线电机和运动控制,以及自动化的生产系统,使其能够在要求苛刻的情况下提供最佳性能。