二手 CANON FPA 5000 ES2+ #9182356 待售
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CANON FPA 5000 ES2+是为高吞吐量、高精度、低拥有成本而设计的下一代晶圆步进器。它采用大光圈、大画幅光学设备,配有先进的光学元件、透镜和光学元件,可实现最前沿的对准和曝光精度。ES2+利用先进的对准系统来确保批次的准确性和可重复性，而新的图像和掩码数据处理能力提供了优越的灵活性和晶圆生产速度。此外,ES2+还提供多种基板,板载机器人能够处理尺寸高达850 mm的框架。CANON FPA-5000 ES2+采用Superior Dynamic Focus™技术,旨在消除手动调整焦点的需要,消除操作员出错的可能性,同时保持最精确的光刻聚焦。此外,ES2+还具有先进的模模惯性对准和优越的现场曝光设置优化,从而可以更高效地设计复杂的设计。板载数据处理和质量控制过程确保从设备出来的图像没有缺陷,并且完全符合规范。ES2+具有相当直观的用户界面，有多种模式允许用户微调曝光设置和其他参数。具体来说,该机器允许用户对全局、本地或基于模具的设置进行精细调整,并为特定的模具类型设置平版印刷参数,这种功能在大多数其他晶片步进器中不可用。此外,FPA 5000 ES2+还具有许多其他功能,可提高吞吐量和准确性。该工具提供了可自定义的加载/卸载和替换过程设置,从而提高了生产吞吐量和灵活性。此外,该资产还支持扩展位以实现更精细的分辨率,并具有40 nm的模式对齐精度。最后,ES2+与多种数据格式兼容,包括光学、磁性和电气,以确保与各种CAD/CAM/CAE系统兼容。综上所述,FPA-5000 ES2+是一种通用的高通量晶圆步进器,旨在为各种基材材料和图样提供最佳性能和精度。高级对齐、曝光和数据处理功能使ES2+成为生产过程的理想模型,在经济高效的软件包中要求高精度。
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