二手 CANON FPA 5000 ES2 #9200128 待售

CANON FPA 5000 ES2晶圆步进器是一种先进的成像设备.它旨在将高分辨率、高精度的图样传递到单个晶圆上。步进器由四个部分组成：光源、投影透镜系统、场透镜单元和图样发生器。光源装有大功率灯、放大的缝隙和像素以及光源冷凝器。投影镜头机采用折射工具排列的多个镜头，提供可靠的投影影像。现场透镜资产由两个机动化的倾斜旋转倒数范围（TRRR）级组成。这个阶段补偿晶圆表面的圆柱形畸变，提供了整个晶圆上准确的图桉放置。TTLI模式生成器生成一个二进制模式，传递到投影透镜模型。设备最大分辨率为0.34 µm,图样尺寸可达22 mm x 22 mm。加上晶圆步进器，CANON还提供了现场对准和定位系统、低振动环境系统、自动化远程操作等其他附件的套件。FPA 5000 ES2提供了市场上最高的精度和准确度。它被用于LED、半导体、半导体互连等各种应用。它是研究和生产实验室的理想选择。