二手 CANON FPA 5000 ES2+ #9200129 待售

CANON FPA 5000 ES2+晶圆步进器是为先进的半导体器件制造而设计的最先进的光刻解决方桉。它是ES2系列晶片步进器的最新发展，提供了改进的成像性能和更高的生产率。作为以考试为中心的设备,CANON FPA-5000 ES2+设计了一套令人印象深刻的功能,可帮助用户实现其设备制造目标。FPA 5000 ES2+的扫描阶段是系统的核心,具有超精密的扫描轴伺服驱动器,可通过极低的角加速度和速度波纹确保平滑运动。这提供了出色的迭加性能和长期稳定的迭加测量。该单元还具有大视野（FOV）功能,最大面积可达17英寸见方。具有850微米/秒的高扫描速度,可实现快速吞吐量。FPA-5000 ES2+的光学器件设计结合了高性能和稳定性。它在0.8 µm处提供较大的聚焦深度（DOF）和达到50 mm的先进数值孔径（NA）。它还具有良好的曝光均匀性,在0.5°倾斜角和50 mW/cm2时具有0.2%的长期稳定性（LTS）。为完成这台机器，CANON FPA 5000 ES2+配备了先进的氙和氙光源，在不受环境条件影响的情况下提供卓越的光学性能和稳定性。它还提供了一个自动化的TOPSENCHECK AXIS工具,在设备制造过程中提供精确的样品对准。除了出色的性能外,CANON FPA-5000 ES2+还提供出色的资产维护和文档功能。它包括一个精巧的实时SmartScope API，允许用户查看、监视和控制显微镜组件，而集成的扫描电子显微镜（SEM）软件包使查看和观察横截面数据更容易进行过程分析。总而言之,FPA 5000 ES2+是一款先进的晶圆步进器,它具有改进的成像、性能和维护功能,可用于先进的半导体器件制造。凭借其最先进的技术，FPA-5000 ES2+是最可靠的晶圆步进器之一，用于高分辨率成像、长期稳定和高吞吐量。