二手 CANON FPA 5000 ES2 #9273145 待售

CANON FPA 5000 ES2是一种高分辨率晶圆步进器,具有65纳米的特征尺寸分辨率。它是一种浸入式干步进设备，在240nm的歧管中使用发射紫外线光源。它使晶体管、电容器、二极管和其他半导体元件的微细加工具有很高的精度和速度。该系统还支持覆盖对准，对准精度± 1.2nm，晶圆定位精度± 1.2nm。此单元包含蒙版对准机（MAS）、具有564mm视场的4K CCD相机和Precision Stage。MAS具有用于高分辨率阵列的浸入式光学布局,最大尺寸为519.2mm x 529.2mm。它为大批量生产提供了优化的成像性能和出色的稳定性。4K CCD相机提供了扩展的动态范围，以实现卓越的成像精度和更高的掩模对比度。4K CCD相机具有非常低的噪声特性，减少了需要存储的数据量，同时提供了出色的分辨率。Precision Stage提供了一个快速、精确、高度可靠的工程平台，用于精细的对齐和精密的微加工操作。它提供5 nm的最大分辨率,用于超精度阵列。FPA 5000 ES2带有智能曝光控制（SEC）,可确保可重复性并实现高吞吐量。它还具有可调节的布局优化因子,以增强检测掩模阵列中的缺陷或错误的能力。该工具易于维护,并具有内置的自动传感资产,可自动处理最佳曝光设置。它可以由多个用户同时操作，每个用户都可以自定义他或她的设置。该机还提供测试和生产印刷品的自动修剪和修理。它具有全彩色视图模式和实时迭加模式，用于准确评估标线图桉和小型设备组件。还提供了一系列硬件和软件更新,以提高安全性、最大可用性以及应对最先进的生产挑战的能力。