二手 CANON FPA 5000 ES3 #293588073 待售

CANON FPA 5000 ES3是一种5微米最先进的晶圆步进器，配备了多项高级功能。为生产环境设计，是高效多项目晶圆加工的理想选择。其先进的光学设备利用高敏锐度、低失真、衍射光学元件和快速级机构，以高通量速率提供快速、精确的对准和测量。CANON FPA 5000ES3还配备了先进的自动聚焦系统，以确保在任何和所有光学条件下均匀聚焦样品，确保精确测量和对准。其完整的扫描线和精确的阵列图像放置提供了高级应用程序所需的最高流程重复性和性能。FPA-5000 ES3包含一个功能强大的晶圆映射单元,支持全晶圆映射以及剂量、对准和聚焦等关键参数的局部晶圆映射。此功能允许关键结构的精确曝光后对齐,从而消除了由于特征未对齐而产生的潜在屈服问题。FPA 5000 ES 3还包括一个功能强大的图像注释器，可以快速准确地定位和测量晶圆上的关键结构。此功能非常适合计量,有助于加快故障分析过程。此外,CANON FPA 5000 ES 3还具有许多环境控制功能,如自动环境监测和精确温度控制,这对于确保整个晶圆制造过程中的精确晶圆加工条件至关重要。最后,FPA 5000ES3是一种先进的晶圆步进器,具有满足任何生产环境中最苛刻和严格要求的特性和功能。其先进的光学机器和图像注释功能确保精确的测量、对准和映射。此外，其全面的环境控制特点确保了整个晶圆制造过程中准确、统一的工艺条件。