二手 CANON FPA 5000 ES3 #293592110 待售

CANON FPA 5000 ES3是下一代晶圆步进器，旨在为大批量生产提供卓越的精度和吞吐量。CANON FPA 5000ES3利用先进的扫描模式和精确的电动机控制，以最小的偏差或像差在曝光平面上快速移动甚至最精细的晶片。步进器允许高放大倍率和大曝光场，对于暴露更小、更复杂的转移掩码至关重要。FPA-5000 ES3包含一个先进的控制设备，利用嵌套可变块最大限度地提高吞吐量和保持准确性。控制系统提供了固定模式和可变场放置的宏观曝光，以减少噪声和产生更高的产量。CANON FPA-5000 ES3具有扩大的光场，用于更大的扫描，这有助于降低缺陷率。步进器能够一致的自动对焦处理，使用非基于PDF的算法来确保连续对焦精度。FPA 5000ES3还包括安装在精确级上的高性能光学器件,该级既稳定又可高度重复,以实现精确的对准和曝光定位。CANON FPA 5000 ES 3具有先进的晶圆曝光单元，可达到低至0.25微米、线宽低至0.25微米的分辨率。步进器具有4k线间距曝光功能,可实现更快、更精确的传输,并具有扩展的视口,有助于减少不需要的光扩散。FPA 5000 ES 3利用自动对准和曝光间隙调整来减少错误并提高标线存活率。FPA 5000 ES3拥有先进的快门机，能够在高强度光线环境下承受曝光，能够精确的曝光时间和强度控制。步进器配备了最先进的缺陷检测工具，有助于识别暴露晶片的潜在缺陷。为确保可靠性和使用寿命,CANON FPA 5000 ES3由最优质的材料构成,包括过滤和维护资产,以确保在机器的整个生命周期中都达到最佳性能。CANON FPA的精确度和先进的性能5000ES3使其成为高容量和精密晶圆生产的必要工具。凭借其优化的性能、卓越的吞吐量和卓越的缺陷检测功能,FPA-5000 ES3能够以最少的浪费来降低每台设备的周期时间和成本,从而为高级且经济高效的晶圆处理需求创造了理想的解决方桉。