二手 CANON FPA 5000 ES3 #293609498 待售

CANON FPA 5000 ES3是利用高精度光刻技术进行微加工的晶圆步进器。它是一个模块化的设备，可以针对特定的应用进行定制，它提供了高产率和吞吐量以及卓越的总拥有成本。系统的主要部件是步进核心、主级、标线级、曝光单元和烘干机/涂层。步进核心由一个微步进平台和一个液晶装置（LCD）微磁盘播放组成，允许用户选择和查看图像。步进核心还配备了高分辨率编码器，以实现精确的晶圆对齐。主级有两个用于晶圆对准定位的高分辨率驱动轴。它具有超高精度的空气轴承结构，进一步提高了精度。主舞台还有一个内置的自动装载机和一个环境室，以保护机器免受环境波动的影响。标线级有两个线性电动机，用于标线在X、Y和Z方向上的平滑精确运动。配有高功率激光二极管，用于最佳激光对准。该标线架设计为最佳的偏转稳定性，并消除了标线效应。曝光工具配有用于高速照明的各向同性等离子体源和用于改善图像质量的圆形偏振照明资产。它还具有先进的控制系统和用于晶圆对准和成像的软件。CANON FPA 5000ES3还包括一个烘干机/涂层模型，该模型利用直接压力和真空将光致抗蚀剂涂覆到晶圆上。烘干机/涂料设备由温度控制，提供均匀的涂层和干燥。总体而言，FPA-5000 ES3是一种高精度的晶圆步进器，它提供高产率、吞吐量和卓越的总拥有成本。它的模块化设计便于定制和升级,而其先进的控制系统和软件则可实现精确的光刻成像和标线对齐。