二手 CANON FPA 5000 ES3 #9104392 待售

CANON FPA 5000 ES3是一种先进的晶圆步进器,专为精确、经济高效的光刻而设计。它具有先进的空气轴承技术，可以对步进器的部件进行高度精确的定位。CANON FPA 5000ES3采用工业级材料制造,坚固可靠,持久耐用.步进器由200W激光设备提供动力，可容纳各种晶圆大小和形状。这使得它能够有效地在平坦和不规则形状的基板上产生精确的图桉。激光系统的相对曝光精度小于0.2微米，曝光可重复性小于0.3微米。步进器还利用高精度、非易失性、非磁性的激光编码器。此编码器可确保步进器始终生成所需的精确模式。还有一个多轴闸门单元，使得在曝光方向之间快速切换成为可能。这样就可以轻松生成极其复杂和复杂的模式。FPA-5000 ES3还采用了业界领先的对准机器，它利用了多种激光干涉仪和线性编码器。这使步进器有能力有效对准精确度小于1微米的晶片。这使用户确信他们的模式和层次将是可重现和精确的。此外，该步进器还具有内置的源控制工具，确保激光束始终处于最佳强度范围。CANON FPA-5000 ES3还为用户提供了一整套检查工具。它可以准确检测肉眼看不见的污染点。这使得它能够消除任何可能导致严重合规性问题的错误点来源。此外，步进器还能检测到微粒污染，否则会减慢生产过程。最后,FPA 5000 ES 3提供了广泛的选项和附件,允许对其进行定制。这使其成为任何需要专业光刻技术的客户的理想产品。其先进的功能、强大的设计和整体性能使其成为那些希望提高生产效率和降低成本的人的绝佳选择。