二手 CANON FPA 5000 ES3 #9114874 待售

CANON FPA 5000 ES3是一种晶圆步进设备，在半导体集成电路的生产中提供精度和精确度。它采用扫描对准光学系统设计，在整个电路层上扫描两个垂直距离，以精确对准其位置。该单元采用了改进的镜头设计，在200毫米的活动面积上具有3.5微米的精度。它还具有三个独立的光学和照明系统，能够实现更高分辨率的成像和更大的动态范围。CANON FPA 5000ES3包括一个高速晶片处理程序,它提供自动对齐和快速晶片转换以及加载和加载功能。利用纳米分辨率对晶圆上的重迭图像进行电机驱动曝光，保证了更高的均匀性和准确性。机器的扫描面积在10到200毫米之间，能够处理多达200毫米的基板。此外,FPA-5000 ES3利用软件控制的电动级,能够实现z轴运动的+/-0.1µm λ/10）可重复性。这一特点得到了其光学对准技术的进一步补充，以提高精度和优越的图像质量。该工具拥有一项专利激光照明资产，它结合了近红外激光扫描和白光成像，为高精度迭加测量提供了卓越的对比度和分辨率。它还有一个独特的晶圆处理模式，同时支持8英寸和12英寸的基板。FPA 5000 ES3还提供高级自动化功能,例如自动对齐、自动加载和自动测量功能。其获得专利的激光对准设备可以提高每层的精度。此外,该系统还配备了光机设计,无需单独使用显微镜,从而实现更高的吞吐量。FPA 5000ES3提供多维自动换挡、辅助透镜、高压泵等一系列升级和配件，以更好地控制颗粒。它的高级诊断功能使用户能够快速发现问题并采取适当的纠正措施。它的软件用户友好，在处理晶片材料和基材时单元高度可靠。也可用于晶圆加工、微加工、光刻等应用。