二手 CANON FPA 5000 ES3 #9147053 待售

CANON FPA 5000 ES3是晶圆步进器，一种先进的半导体光刻设备，用于集成电路制造中的光刻工艺。它提供了多种成像性能特性，包括高精度的掩模对准和暴露的晶圆对准。CANON FPA 5000ES3使用步进式曝光系统对晶圆上的芯片图样成像。该单元采用254 nm镜头，数值孔径为0.52，全反射照明机，平顶场照明器。该工具的有效分辨率为0.35 μ米（2400点/英寸）。FPA-5000 ES3有一个大型的500万像素传感器，可以检测光学放大的配准标记，以及一个三眼对准资产与自动对准。其图像失真特性可以纠正晶圆的不准确性,从而确保最大屈服率.它还配备了一个自动聚焦模型，方便准确和一致的成像。此外，它的石英玻璃结构确保了高精度的步进和重复操作，并且支持晶圆的自动居中。CANON FPA-5000 ES3设计用于处理各种晶圆尺寸，包括100毫米、125毫米、150毫米、200毫米和300毫米。利用P-MBE采集软件增强流程。P-MBE控制晶片加载和卸载、曝光、光学计量和其他过程，以优化产量。设备采用多种轻型盾幕等安全机制设计，确保人员安全。它的控制软件还利用一个综合流程监测系统来提醒人员注意任何单位的故障。CANON FPA 5000 ES 3配备了先进的软件，以提高吞吐量并实现可重现的成像结果。这台机器也是可定制的，允许用户微调他们的成像参数。最后,它具有用户友好界面和强大的流程管理功能。FPA 5000 ES 3是先进光刻工艺的完美解决方桉,因为它提供可靠的性能和质量输出。