二手 CANON FPA 5000 ES3 #9200130 待售

CANON FPA 5000 ES3是一种最先进的半导体晶圆步进器，旨在满足各种集成电路（IC）晶圆生产需求。此步进器的基板尺寸为300 mm,可为增加的整体晶圆输出提供高吞吐量。CANON FPA 5000ES3具有高达18mm x 18mm的扫描场大小,为复杂和高密度电路模式提供高分辨率成像。这对于溷合逻辑设备的生产和高级内存设计尤其有利。步进器的先进光学设备具有5倍、10倍和20倍的光学柱放大倍率范围,在最长的柱配置下可达到1.35 nm的最小线宽。FPA-5000 ES3采用先进的双蒙特卡洛算法，实现了½微米聚焦深度的先进聚焦深度控制。此步进器还可实现最大的正常运行时间和工作效率。它具有一个带有"后续"照明和阴影传感器的"不丢失时间"故障切换系统，它允许在发生故障时进行另一次操作。步进器包含一套视觉传感器，用于晶圆的精确对准和曝光时间校正，以及一个额外的在线检测单元，用于检测曝光过程中的任何潜在缺陷。CANON FPA-5000 ES3能够处理多种晶片类型,如绝缘子硅（SOI）、玻璃硅（SOG）或它们的任意组合。此外，步进器还具有保护敏感晶片的特性，例如，对曝光头进行高级隔振，防止曝光时振动引起的故障。该设备设计易于维修和快速维护。直接访问其所有组件和易于互换的部件,可快速可靠地节省多达50%的维护时间。FPA 5000 ES3是一种最先进的晶片步进器，满足最苛刻、最先进的晶片生产要求。FPA 5000 ES 3以其先进的光学机器、先进的DOF控制、处理多种晶片类型的能力和可维护性特点，是IC生产设施的绝佳选择。