二手 CANON FPA 5000 ES3 #9200131 待售

CANON FPA 5000 ES3晶片步进器是一种顶级、全自动的光学光刻生产设备,旨在满足现代高产芯片制造的要求。该ES3配备先进的成像光学器件、高NA照明和精密的控制系统,即使是最复杂的电路,也可以在高达150 mm （6英寸）的标准基板尺寸上形成阵列。CANON FPA 5000ES3采用多场图像投影系统，将整个晶片迅速暴露在其红色二极管激光光源下。图像可以从内部库编程和调用,也可以从外部导入。多维缝合算法确保晶圆覆盖无缝。该ES3的分辨率高达5微米,可促进从标线尺寸到亚标线尺寸的不同程度的曝光,从而为生产工程师提供最高程度的灵活性。FPA-5000 ES3可以精确地对齐和定位每个晶片,从而可以精确地以相对于晶片边缘的任何角度产生复杂的线条和形状。使用板载6轴条纹场对准单元,可以非常精确地执行猫眼对准、步进重复或蒙版图样缝合等过程。该ES3能够用不同的材料曝光晶片，并且可以容纳不同的胶片格式，如正音抗蚀剂、负音抗蚀剂、直接UL光刻、晶片计量学和直接离子植入。同时提供了两个晶片级,用于多个晶片的连续处理.FPA 5000 ES3的全自动控制机配有诊断仪表、监控系统、用于数据存储和输出的大型机以及在线故障诊断功能。此外,网络I/O工具有助于从生产现场的任何地方进行远程操作和数据收集。所有这些特性和功能意味着CANON FPA 5000 ES 3可以提供5.0微米的最大分辨率、5英寸大的棕褐色窗口以及完美的光学设置。此外,通用的控制资产、机器人自动化和各种曝光格式使ES3能够在最高级别快速准确地处理晶片,使其成为高产芯片制造的完美解决方桉。