二手 CANON FPA 5000 ES3 #9272923 待售

CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper是用于先进半导体制造的最先进的光刻设备。该系统具有两级平移级,可提高吞吐量并允许精确对准曝光卡带。CANON FPA 5000ES3利用六个CANON CCD传感器和一个高分辨率曝光窗口结合了大规模并行曝光（MPE）单元的设计特点。曝光窗口设计允许广泛的制造应用，包括生产用于消费电子产品的高产量集成芯片。FPA-5000 ES3的最大放大倍数可达5000倍,分辨率可达0.25 um。它采用八种镜头配置，包括凸透镜、凹透镜、多f折射镜等交替曝光光学。特殊的光源，如点光图桉，也可用于设计变化。该机还具有高灵敏度快门机构，以实现所有镜头的均匀曝光强度。该工具配备了世界级的图像处理资产,提供多种图像调整选项。该软件利用先进的技术来调整照明效果，应用光图样，并进行其他调整，以提高图像的准确性和一致性。软件还提供图像数据库,允许用户存储和查看模式、配方以及任何其他执行设置。CANON FPA 5000 ES 3旨在支持一系列先进的光刻应用，包括深紫外线、EUV和X射线。它还配备了多种其他功能，包括高效的空气承载级、集成的CPU和RAM，以及与CANON先进晶圆步进系统的硬件/软件兼容性。该型号的设计满足了最苛刻的生产需求，使其成为任何半导体制造商的强大工具。