二手 CANON FPA 5000 ES4 #293817779 待售
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ID: 293817779
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.80
Resolution: 180 nm
DCO: 25
Throughput (WPH): 65-300.
CANON FPA 5000 ES4是一种全自动晶片步进器,具有最先进的设计,设计用于从晶片加工到晶片检验的卓越性能。该设备将佳能先进的光刻技术和步进技术与模块化布局相结合,快速高效地完成工作。ES4模型具有独立预对准器的集成级系统,以确保精度。每秒最多进行8次高速晶圆移动,可实现高通量,并可处理各种晶圆尺寸。为了最大限度地提高精度,该设备采用了先进的激光扫描仪,具有创新的光学成像体系结构。高精度线性步进器和进纸器将晶片与透镜完美对齐。这台先进的晶圆对准机还允许对光学器件的角度、焦点和位置进行现场监控和调整。步进器采用清洁、无尘的光学工具设计,即使在不利的环境条件下也能提供一流的性能。此外,佳能FPA-5000 ES4提供高分辨率成像资产,包括高动态范围CMOS相机和长工作距离显微镜。这样可以确保在多个运行和环境中获得一致的结果。步进器利用CANON全面、用户友好的软件平台,提供高度的可变性和定制。用户直观的软件有助于进行实验,简化设计和生产过程,以便进行大批量生产。FPA-5000 ES 4可以提高生产效率,通过提高流程的简便性,帮助用户保持优化并达到所需的吞吐量Project。该模型非常适合需要卓越性能和精度的高精度应用。该ES4具有各种功能,非常适合各种应用程序和过程。
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