二手 CANON FPA 5000 ES4 #9267141 待售
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ID: 9267141
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Scanner, 12"
Illumination
Scan illumination
Z-Spin
Wafer type: Notch
CYMER ELS 7300 KrF Scanner laser, 248 nm
Laser
Right side console
Surface illumination (Standard): 36000 W/m²
R-Type inline direction
Reduction ratio: 1:4
Resolution: 120 nm
Alignment accuracy: 20 nm
Throughput:
AGA (8) Shots 110 wafer/hour
Step pitch: 26 nm x 33 mm
(64) Shots, 12"
Exposure amount: 300 J/m²
(3) Lighting NA:
0.80/σ0.80 Conv
0.80/σ0.40 Conv
0.80/SiB2
Projection lens NA: Variable 0.55-0.80
Exposure range (scan field): 26 x 33 mm
Wafer alignment: AGA (Off axis scope)
Reticle library: (7) Sheets
Options:
PPC Unit, 6"
Reticle barcode reader (2D), 6"
Signal tower
Relay FOUP unit
2003 vintage.
CANON FPA 5000 ES4是一种专用晶圆步进器,专为设备生产中的光刻需要而设计.它是一种高度精确可靠的设备，在制造过程中最大限度地提高了设备的一致性。佳能FPA-5000 ES4采用领先的运动控制和光学技术,提供高级功能,如高分辨率成像、并行处理能力和晶圆的最小热压缩。这些功能共同提供了显着提高的过程稳定性和可重复性。FPA-5000 ES 4步进器由主体、扫描仪、激光二极管阵列源、成像光学和超精度级组成。主体容纳所有系统组件，使用扫描仪创建所需的模式。此单元中的成像光学器件是最顶端的,可提供最高分辨率。另外，激光二极管阵列源为830nm曝光波长提供最大允许功率。为保证精度，步进器配备了CANON超精密级机构。这台复杂的机器有两个正交的U轴，由直线电动机驱动，并提供高度精确的定位工具。因此,该级提供了与晶片的模式的最佳对齐方式,从而在迭加、聚焦和失真校正方面带来了优越的工艺性能。此外,FPA-5000 ES4步进器还具有广泛的软件、自动化和数据采集工具。这样可以更有效地生产和自动化光刻工艺。为确保安全，该资产集成了几个条件安全联锁，包括光学传感器、运动控制和电源联锁。FPA 5000 ES4步进器是一种可靠且先进的型号,旨在为设备生产中的光刻需求提供无与伦比的性能和稳定性。凭借其顶级技术，包括运动控制、光学和舞台机构，这款设备提供了高度的精度和过程控制，从而在生产中实现了优越的设备一致性。
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