二手 CANON FPA 5000 ES4 #9282327 待售

佳能FPA 5000 ES4晶片步进器是一种先进的半导体光刻设备.该步进器设计用于半导体制造厂,利用先进的投影光学器件和固定器来支撑各种晶圆形状和尺寸。其超低激光反射率设计确保了卓越的图像质量和更高的成像精度,同时其极快的处理速度缩短了周期时间,提高了吞吐量效率并降低了总体成本。CANON FPA-5000 ES4凭借其出色的0.83数值孔径（NA）提供了出色的阵列设计能力,从而实现了广泛的景深和改进的工艺纬度。其9英寸（228.6毫米）的大磁场尺寸为晶圆处理提供了灵活性,而其1/6毫秒的曝光时间确保了较小的功能的高分辨率和吞吐量水平,低至0.33 µm。步进器由于其精密的轴上减小的转向设备而确保了可重复性，确保晶圆与投影光学器件的精确对准。此外，该系统还包括一个用于减少晶圆法兰载荷和处理薄基板的集成真空单元。该机器具有许多自动化选项和功能,例如集成的晶圆装载器和存储器,以及全自动晶圆检索和移动。其先进的升力标线级提供了一系列的对准功能，以提高标线放置的速度和精度。该工具还可以通过一系列附加的可选组件轻松升级,例如高级OCR空气扫描仪,它提供了一系列晶圆尺寸的高精度测量。最后，FPA-5000 ES 4具有先进的安全功能，例如在发生意外事件时紧急停止关闭激光操作。它还包括对步进器内部和周围的电气、机械和环境条件进行强大的监控,提供安全、高度可靠的处理体验。此外，该资产经全球使用认证，符合所有适用的安全标准。