二手 CANON FPA 5000 iZ+ #9237478 待售

CANON FPA 5000 iZ+是一种通用的晶圆步进器,具有先进的对准和缝合技术.该设备设计方便快速、准确、可靠的晶圆处理。它提供了高精度、低失真和多用途的扫描过程。该系统专为LCD、CCD、光学元件、平板显示器和半导体器件制造等广泛应用而设计。该单元包括一个步进级,可提供高达10 nm的精度、0.05 nm的可重复性和高达50 nm的速度。该级由集成的运动八元电机驱动,可提供高达5 m/s的速度,用于快速晶圆处理。此外,它的内置扫描光学器件可确保高达2nm的高精度对准能力和50 x 100 μ m的低失真。FPA 5000 iZ+还具有广泛的附件，包括各种传感器、控制器、激光、相机和激光脉冲停止机。传感器配备了最新的自动校准技术，用于快速校准和针迹校准，可重复精度小于1.5nm。控制器可实现3D的精确晶片处理。激光器的设计使晶圆振动最小化，并确保平滑扫描。此外,还集成了摄像头以提供强大的图像处理能力。此外，激光脉冲停止工具的设计是为了在所需的位置精确地停止激光脉冲，以尽量减少对晶片的伤害，避免过度曝光。总体而言，佳能FPA 5000 iZ+是精密晶圆处理的绝佳资产。它具有先进的对齐和缝合能力、高精度、低失真以及适用于各种应用的各种配件。它是高精度晶圆加工的理想选择，提供可靠高效的生产工艺。