二手 CANON FPA 5000 iZ #9258487 待售

CANON FPA 5000 iZ是一种晶圆步进器，旨在实现各种先进光刻工艺的卓越性能。该设备采用佳能独特的高通量成像技术，以0.2 µm或更高的高精度运行。它针对最先进的制造技术进行了优化,例如OPC（光接近校正）和Subwavelength Imaging （SWI）。FPA 5000 iZ的最大工程尺寸为6英寸x 6英寸,并且能够使用高分辨率减小光学器件对低至0.2 µm的特性进行成像。Optics封装具有高性能光学元件,包括防散焦/像差校正系统,以及用于照明调节的金属卤化物灯。该设备还配备了先进的图样切割和缝合软件，用户可以利用大场成像，一次处理多达四个晶片。CANON FPA 5000 iZ还包含了许多先进的系统，旨在打击和最小化光刻过程物理造成的"标记"或图像失真。CANON专有透射/反射率低角度干涉（TRLIA）机自动调整沉积材料的临界曝光角度,而CANON专利申请中的超高对比度（UHC）工具则能够以更高的精确率对密集、高纵横比的图样进行成像。FPA 5000 iZ是光刻市场上可用的顶级系统之一。它为用户提供了多种功能,并提高了性能和精度。资产的先进光学、特性和设计可实现高质量的成像。此外,模型的差异易于调节,使用户能够在不同深度的焦点需求之间进行切换。这使得可交付的产品具有更高的质量、准确性和性能水平，以满足微加工的最苛刻的要求。