二手 CANON FPA 5500 iZ #9235467 待售

CANON FPA 5500 iZ是一种先进的晶圆步进器，旨在实现典型的成像性能和准确性。这台设备是采用深紫外线（DUV）光刻技术加工微芯片等半导体器件的氮气冷却步进器。CANON FPA 5500IZ具有高度精确的主成像系统,包括多层设计、高效照明单元和旋转编码器。多层设计部分吸收背景光以增强边缘对比度，而高效照明机则有助于中继正确的交替成像水平。同时，旋转编码器提供准确的位置信息。FPA-5500 IZ还具有0.0050 µm的电池精度和0.00024 nm的线路精度,因此具有很高的阵列放置精度。它还具有0.5nm CD均匀性和0.0015 µm图像精度,具有优异的成像性能。此外,该工具的照明光学器件使用的是5倍还原光学器件,其数值孔径为0.60。FPA 5500IZ的高性能成像和精确度通过自动校准进一步提高，最大限度地减少了调整误差。它还配备了多种其他外部控制，如允许快速曝光和着色校正的快速通道资产、自动阶段模式对准以及保持最佳成像焦点的轴上自动对焦模型。此外，该设备还减少了由于空气冷却而产生的颗粒负荷，并有效过滤了小至0.1µm的颗粒。FPA 5500 iZ的整体设计耐用可靠，其腔室内有低压（6 Pascals）。通过提供卓越的成像性能、准确性和可靠性,此系统是那些需要以严格的精度创建复杂图像的用户的理想选择。