二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9236391 待售
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CANON FPA 5500 iZ+是一种晶圆步进器,旨在生产用于半导体芯片生产的高度精确的单层掩模。这种先进的步进器利用一个带有激光二极管的照明器源,该二极管发射波长为365nm的光脉冲,从而允许极其精确的图像放置。IZ+还利用CANON专利图像配准设备,利用独特的干涉仪测量每一层的精确定位。CANON FPA-5500IZ+还具有许多功能,旨在实现业界领先的精度和吞吐量水平。它专有的"飞刀"系统利用一个旋转的刀片,当面罩暴露每一层时沿着面罩表面移动,允许以1微米的潜在分辨率进行曝光。此外,该设备独特的对齐单元支持自动化和手动精细对齐,大大提高了精度。FPA 5500 IZ++的磁场尺寸为7.5英寸宽,其高效的光学器件和镜子允许在各种尺寸的基板上进行曝光。这使得它非常适合生产各种类型的芯片,从高端消费电子到先进的医疗成像设备。优秀的照明机也被设计为保证所有涉及的层的均匀曝光。CANON FPA 5500 IZ++采用了多种先进的处理技术,如化学放大抗蚀剂系统和降束曝光技术,以确保保持高处理速度。步进器还包括一个高级错误检查工具,该工具可持续监视要曝光的图像,而自动反馈资产可确保正确对齐和注册每一层。功能丰富的FPA-5500IZ+是寻求可靠、高精度步进器的半导体公司的理想选择,以确保正确、及时地生产消费和医疗电子产品。其最先进的处理技术保证了快速的生产过程,而其先进的成像和对准系统则确保了无与伦比的精度。
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