二手 CANON FPA 5500 iZ #9247811 待售

CANON FPA 5500 iZ是用于半导体元件制造的理想晶圆步进器。它采用了精密间隙控制技术（PGCT）,该技术旨在提高精度、速度和吞吐量,同时保持生产最优质晶片的能力。这台机器能够以高达0.1 µm的分辨率进行步进操作，以对正负色调阻抗进行阵列化。此外,该机器的高输出功率为1000晶圆/小时,非常适合商业生产。步进器采用4维级结构，采用集成的嵌孔电机，可平滑、精确地处理晶圆。这样可以提高对准设备的定位精度,并确保在多个晶片上保持一致的性能。此外，晶片台还配备了温度控制系统和温度监测装置，以更好地保证晶片级的均匀性。本机采用5KW超高压汞灯，曝光率高达2.9mJ/cm2。这使得图案分辨率从0.3 μ米到10 μ米，复杂的细节与保形透镜技术以及改进的浅层蚀刻实现。CANON FPA 5500IZ还提供了自动间隔器丢失检测,允许在单个周期内自动检测间隔器丢失故障。这大大提高了可靠性，减少了因人为疏忽而出错的几率。此工具具有高分辨率的Cross Stage XY,专门为满足精确定位和高可重复性的严格要求而设计。它配有集成环编码器、绝对色度测量和角动式转子设计，提供晶圆杆定位的最高精度。FPA-5500 IZ还具有自动区域设置功能,可快速设置均匀曝光设置。这是一个有利的功能，它简化了设置过程，使具有溷合设计或具有复杂模式的晶片能够快速曝光。FPA 5500 iZ还通过CANON服务网络得到卓越售后服务的支持,其中包括在线管理资产、合格人员提供的技术和工程支持,以及远程故障排除等一系列附加选项。总之,FPA 5500IZ是一种先进的晶片步进模型,具有优异的性能和可靠性.它具有很高的速度和精度，非常适合在半导体工业中生产高精度和复杂的图样。