二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9247812 待售

CANON FPA 5500 iZ+晶圆步进器采用先进的半导体光刻技术进行高通量、高分辨率成像。其多波长视觉使设备在产生多层时能够进行复杂的对准和迭加扫描。此外,iZ+还具有先进的光学子系统阵列,可实现模式校正和广泛的动态范围。其深紫外线（DUV）扫描仪能够分辨出0.18微米的特性。CANON FPA-5500IZ+是一种具有自动聚焦机的位置测量系统激光投影单元（LP），设计用于高精度、高通量的制造。它为DUV激光器配备了直径9英寸的5片镜头，使工具达到高图像分辨率和150毫米的视场（FOV）。LP可以通过一个大的视野进行测量，使其能够以精确和可重复的对准精度用于设备晶片的生产和检查。FPA 5500 IZ++晶片步进器具有许多高精度成像的特点。它配备了用于清晰成像的色差校正器（CAC），以及补偿CAC位置漂移的压电驱动扫描资产。此外，多波长光学滤波器有助于检测图样之间的细微差别。此外，为防止失真，线性模式识别模型允许精确对准。它还配备了内部信号处理，减少噪音，提高模式识别精度。使用DUV激光器上的光束分割设备，FPA-5500IZ+也可以在不同的光刻层之间快速切换。这样可以在最短的停机时间内快速处理时间和高吞吐量。此外,360度旋转转塔可提高多个位置的吞吐量。它使系统能够快速切换覆盖位置以获得更精确的位置。CANON FPA 5500 IZ++还提供了内置的自动镶嵌功能，使其能够生产多层、高质量的设备。此功能创建图像镶嵌以覆盖基板,而无需手动重新对齐晶圆。此外,它还能够处理多达6倍的标线以进行并行曝光,并且可以在单个作业中对高达8倍的曝光进行成像。总体而言,FPA 5500 iZ+晶片步进器是一个可靠而灵活的单元,可提供高精度成像和最小化失真,用于复杂多层设备的高吞吐量和输出。它具有广泛的功能,是快速准确地生产设备的理想选择。