二手 CANON FPA 5500 iZ #9251789 待售

CANON FPA 5500 iZ是一台由CANON开发制造的浸入式光刻机，设计用于半导体晶片的精确制图和批量生产。CANON FPA 5500IZ是一种浸入式光刻设备，利用高功率的紫外线光源、先进的光学器件、专门的化学器件和扫描力学将图样暴露在晶片上，创造出错综复杂、精确的电路图样。FPA-5500 IZ配备了先进的二进制照明功能包,可实现快速、精确的阵列设计,并具有很高的重复性和准确性。与传统的二进制照明系统相比,此高级软件包包括可变数值孔径（VNA）模式,该模式可调整数值孔径和光斑大小以进一步优化分辨率特性,以及将曝光时间减半的掩模移位扫描（MSS）。CANON FPA-5500 IZ的光学设置由全反射折射结构组成，共有10个光学元件，包括共享光源、成像镜头、镜子、聚焦镜头和4快门光控制器。包含在系统中的光学元件将系统的分辨率提高到32 nm半音高。FPA 5500IZ由CANON专有的CASS（粗对准和稳定单位）提供动力,该CASS可主动稳定晶圆平面上的曝光光,并具有亚微米级对准能力和CACC（粗对准和校正机）,可改进位置控制。这两个功能共同创造出最佳和一致的结果。FPA 5500 iZ设计了高性能晶圆级，可以控制旋转运动和各种扫描速度。其边缘暴露工具满足精确的图样要求，晶片加载机制得到优化，可以处理易碎晶片。CANON FPA 5500 iZ还利用化学输送资产确保工艺化学品的均匀扩散，用于可重复浸入式光刻。CANON FPA 5500IZ能够对尺寸可达200 mm、精度可达32nm半螺距、加速度为10G、最大吞吐量为406wph的晶片进行阵列设计。它还设计了一个小的足迹，一个环保的结构，和最小的动力遏制。这使得它非常适合多技术工艺开发和大批量生产应用。FPA-5500 IZ是一种高度先进且用途广泛的光刻模型,它配备了能够实现精确高效的图样设计功能的功能。