二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9251792 待售

CANON FPA 5500 iZ+是一种半自动光刻晶片步进设备，设计用于高精度、经济高效的光掩模生产。该系统提供了相对容易和快速地生成光掩模图样所需的灵活性和精确度。该单元具有一个非常强大的步进引擎，提供快速的速度，高精度，和最小的模式失真。步进引擎与高速、精确对齐的光学头结合，以极高的分辨率高效扫描掩模。当步进器处理重迭的模式时,最多可使用5个标线,从而节省时间和成本,使其成为多项任务的理想选择。该机采用先进的对准工具和适用于VLSI和CMP处理的模具对准能力。它的高精度对齐资产有助于最小化设置时间,并使将多个掩码注册到单个晶圆上变得容易。它支持多种基板和标线尺寸的能力使得它成为不同尺寸模式的客户的绝佳选择。CANON FPA-5500IZ+具有喷墨液滴检测模型。该设备可以检测掩模表面的缺陷，快速识别有缺陷的图样，然后操纵数据或采取纠正措施，例如重新定位当前的图样或丢弃有缺陷的表面。集成的光掩模生产环境为建立和管理光掩模模式提供了不可或缺的功能。该系统简化了参数设置过程,提高了效率并有助于降低成本。此外,掩模生产工具还管理所有相关数据和历史记录,以提高效率和准确性。为确保最佳性能,FPA 5500 IZ++具有闭环控制单元。本机监控基板温度和光掩模阶段的严格性能.集成的温度控制工具可确保均匀的基板温度,以获得精确的结果,而不管资产运行了多长时间。总体而言,FPA 5500 iZ+是一种先进但用户友好的晶圆步进模型,专为高精度和经济高效的光掩模生产而设计。凭借旨在提高准确性和降低成本的集成功能、光发射测试以及强大的实时基板处理功能，这款设备是光掩模行业客户的理想选择。