二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9251794 待售

CANON FPA 5500 iZ+是为半导体制造应用而设计的晶圆步进器。iZ+是CANON步进系列的旗舰机型，能够以极高的精度和较高的吞吐量产生模式。步进器是一个6轴装置，每个轴可独立编程，以达到纳米级精度。它使用衍射限分辨率为1.2微米的长工作距离透镜，使其能够产生边缘锐利、表面光滑的图桉。它使用大功率CCD相机，最大分辨率为1024 x 1024像素。IZ+还能够产生深亚微米模式。其专门的先进光电快门系统（AOSS）可以产生最小线宽/空间宽度为0.30微米的图桉，为3D半导体器件提供优越的图桉。除了它的模式-数字是一个18输入引脚感应驱动站，可用于控制IP块交叉连接信号复杂的制造过程。IZ+还具有自动化的测量系统，使步进器能够测量亚微米的胶带位置，并确保所有图桉都能正确形成。所有必要的对齐数据都由系统不断监控，并传回主控制单元进行实时反馈。CANON FPA-5500IZ+提供了一种快速、可靠和高精度的半导体制造工具，能够产生性能优异、高精度高的深亚微米图桉。步进器也易于操作,并由CANON强大的客户服务进行备份。借助可靠和全面的支持,iZ+可以为任何半导体制造操作提供长期的生产效率。