二手 CANON FPA 5500 iZ #9274953 待售

CANON FPA 5500 iZ是一种晶圆步进器，用于半导体工业中，用于制造集成电路（IC）和其他微电子器件如内存芯片、处理器或LED。它采用了先进的设计,可帮助最大程度地减少各种设备在过程准确性和可重复性方面的变化。iZ是一个步进扫描系统，意味着它能够分两步水平移动标线（存储电路设计模式的掩码）和晶圆。第一步称为"预对齐"，其中标线精确定位在晶片上方。第二步称为"扫描"，其中使用称为"曝光"光束的激光束将图样从标线投射到晶片上。CANON FPA 5500IZ能够以0.25微米的最大分辨率（1/4微米）和单位数纳米范围内的最大重复精度（即偏差小于10nm）运行。它具有高端图像缝合功能，可以将几个图像连接在一起，重新创建分辨率为0.25微米的大标线图桉。IZ还提供一系列高级对齐功能。这包括对标线和晶片进行对齐，以确保准确性和可重复性；在晶片上进行一系列类似场的相对定位的能力；以及允许晶片和标线精确快速预先对准而无需调整晶片或标线的就位（JIP）模式。FPA-5500 IZ被设计为制造设备的快速、可靠和高性能的平台。由于其成像系统的高精度和灵活的对准系统，它能够提供快速的周期时间，从而可以重复和准确的现场放置。此外,它还提供了一系列功能,例如可定制的晶片卡盘、光纤照明系统和直观的用户界面。FPA 5500IZ是一种健壮且精确的晶圆步进器，适用于各种微电子制造过程。它是为最高精度和可重复性而设计的，并提供了许多先进的功能，使其成为制造IC和其他微电子器件的理想选择。