二手 CANON FPA 5500 iZ #9275017 待售

CANON FPA 5500 iZ是在半导体制造过程中执行临界光刻任务的晶圆步进器。它是FPA 5000的改进版本,具有改进的光学设备和更高的功能分辨率,可达0.09微米。步进器使用由透镜、镜子和棱镜等光学元件阵列组成的透镜技术将图像传输到晶圆上。它减少光的光圈，从而使图像的放置更加精确。CANON FPA 5500IZ具有较高的深层紫外光刻成像性能,在正负抗蚀剂照射下提供线宽低至0.09微米（0.009毫米）的图样。它还提供了卓越的覆盖精度和较低的工艺纬度,确保了产品设计的严格公差。该单元具有改进的投影光电系统，可提高分辨率，以及改进的照明单元，可确保整个曝光场的照明均匀性。这使客户能够获得最佳结果,以产生他们所需的模式。FPA-5500 IZ具有许多功能,使其适合任何高精度光刻作业。最大场为24 X 24 mm，配备舞台平移范围10 mm，最大场大小和精度。该单元能够在多种不同波长下运行，包括i-line（365 nm）、g-line（436 nm）和DUV（248 nm）。该机还配备了高性能晶圆对准工具，使机器能够确保对准精度在70 nm以上，可重复性高达20 nm。该机可靠性高，稳定性强，具有空气电离器和除尘器等特点。该资产还配备了一个防振表，可以在晶圆上稳定地放置低至半音高的图像。它配有一个内部闸阀，有助于防止真空室的污染。FPA 5500IZ还具有大型液晶显示器,便于查看图像信息。在自动化方面，CANON FPA-5500 IZ配备了可升级控制器，可支持多达三个用户定义的自动加载功能，用于不同的吞吐量。它还可以通过易于使用的图形用户界面（GUI）进行控制,该界面允许全自动、半自动或手动操作。机器具有较高的处理速度，减少曝光时间，每小时最多可处理八个晶圆。总体而言,FPA 5500 iZ是一种先进的晶圆步进器,它通过改进的光学系统提供了更高的分辨率和功能。它还提供了晶圆对齐和迭加的高精度,以及提高效率和吞吐量的自动化选项。