二手 CANON FPA 5500 iZ #9293800 待售

CANON FPA 5500 iZ
ID: 9293800
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
i-Line stepper, 12" 2001 vintage.
CANON FPA 5500 iZ是一种最先进的晶圆步进器,旨在产生高度精确的光刻图像。这款设备采用先进的多色还原相移技术,实现失真低、背景噪声小的超高分辨率图像。CANON FPA 5500IZ提供同步加速器级图像分辨率和特征一致性,同时提高吞吐量和减少开发时间。该系统配备了objA和objB这两个高孔径目标,可提供出色的特征分辨率,提高特征线性度,并在整个领域实现sub-2 nm分辨率。这允许更高的寻址性、增强的过程控制以及改进的未来产品可扩展性。此外,FPA-5500 IZ利用双放大成像,或DMI,一个独特的功能佳能光刻系统。DMI将两种物镜结合在一起,以精细地聚焦和调整图像细节,从而使用户能够探索新的方法来准确地描述各种程度的特征。设备使用高级集成的步骤和重复过程,该过程会自动调整字段大小以及曝光参数。这减少了暴露错误的机会,确保了整个字段的一致性。板载晶片转移选项加上高速整合过程,缩短了处理时间并提高了吞吐量。FPA 5500IZ还与FPA-100变焦光学机器兼容,这是一种多功能、紧凑的汽车工具,适用于变焦镜头范围超过4倍的应用。该设备提供三种镜片:1.8X、2.2X和2.8X,使用户能够快速适应最具挑战性的成像问题。FPA 5500 iZ利用CANON专利MicroLock技术和先进的远心光学资产进行精密光刻应用。MicroLock可防止曝光不对准,并确保将图样精确传输到晶圆。远心光学模型采用静态校准的标线设备,具有极高的图样精度和可重复性,使CANON FPA-5500 IZ成为半导体制造的理想系统。CANON FPA 5500 iZ非常适合那些寻求可靠、易于使用的晶圆步进器来满足其光刻需求的用户。功能和先进技术的结合使CANON FPA 5500IZ寻求提高其光刻精度和产品可扩展性的企业的宝贵工具。
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