二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9293801 待售

CANON FPA 5500 iZ+是为集成电路（IC）生产过程设计的最先进的晶圆步进器。该设备能够处理直径从200毫米到450mm的晶片,并且能够以高达300毫米/秒的快速速度处理晶片。步进器配备了先进的图像定位光学设备，使晶圆上的标线精确对准，每次曝光都有亚微米精度。该系统还能够在几分钟内扫描整个晶片并检测任何缺陷或缺陷。此外,FPA 5500还具有精确的舞台运动控制功能,可在晶片的整个表面上实现均匀性曝光和极精确的晶片与标线对准。步进器具有紧凑的设计,允许机器以各种配置安装,而无需昂贵的转接单元。此外，它还具有自动维护功能，监测机器的状况，并进行必要的预防和纠正维护，以确保可靠的生产过程。该设备由高级轴上照明工具（AOIS）供电,该工具使用高性能LED在晶圆的整个裸露表面提供均匀的光强度。此外，该资产使用优化的紫外线光谱来提供尽可能高的分辨率，以提高清晰度和边缘清晰度，并根据晶圆类型和厚度提供更高的聚焦深度。该单元还具有高精度衍射光学元件，在晶圆上投射出均匀的锐利光场，提供近乎完美的图像均匀性和多功能性的曝光。此外，FPA 5500装有佳能iZ Monitor Model，它实时记录和报告精确的曝光数据，允许精确无误的操作。为确保最高质量和生产率,CANON FPA-5500IZ+配备了集成的质量保证设备。此系统记录任何流程更改,使其易于检索以改进流程和预防性维护,并允许设施之间共享流程数据。此外,FPA 5500 IZ++还配备了自动对准装置,以实现快速、准确的晶片对准,从而确保产品质量可重复。FPA 5500 iZ+是一种可靠、精密的设备,是IC生产技术中最好的。步进器以高达300毫米/秒的惊人速度,每次曝光都提供了非常多的细节,而其现有的晶圆处理组件可以轻松升级,以适应更苛刻的任务。