二手 CANON FPA 5500 iZ #9350968 待售
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CANON FPA 5500 iZ是一种最先进的晶圆步进器,用于制造半导体和光电器件。它能够产生微观和纳米的特征,从而提高精度和性能。机器的核心是集成的ZAP双光束光学设备,它结合了5500毫米脉冲激光和差分成像(DIF)配置,以提高光刻性能。CANON FPA 5500IZ还包括一个600毫米矩形投影镜头,允许快速扫描速度和减少失真。FPA-5500 IZ具有425 mm的广域,并配备了创新的基于特征的轴对准(FOBAW)系统,以提高准确性和可重复性。其高精度的X-Y级具有高度精确的独立运动和扫描制导能力。为了提高生产率和可靠性,该机器的设计缩短了刀具的安装时间。在性能方面,CANON FPA-5500 IZ能够生产最小特征尺寸为0.5 µm的高精度蚀刻和/或涂层器件。该单元还配备了衍射模煳还原技术,可以减少衍射诱导的掩模误差的影响。其先进的舞台控制机器包括独特的内存共振扫描(MRS)技术,可实现更快的掩码与晶片对齐和更快的阵列。此外,FPA 5500 iZ还具有多项功能,可提高安全性、效率和成本效益。它配备了激光安全监控工具,监控机器的环境,以确保激光安全。该机器还能够产生可被强制空气资产消散的热量,防止部件损坏并提高能源效率。最后,一个可编程逻辑模型提供了一个交互式的界面,方便的作业控制。FPA 5500IZ是一种尖端晶片步进器,可提供卓越的精度和性能,满足苛刻的生产要求。它的先进功能,如FOBAW、MRS和激光安全监测,确保其高度可靠和具有成本效益。因此,CANON FPA 5500 iZ是制造半导体和光电器件的理想选择。
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