二手 CANON FPA 5500 iZ #9382264 待售

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ID: 9382264
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
i-Line stepper, 12" 350 nm 2001 vintage.
CANON FPA 5555 iZ是一种先进的步进器,在晶片上产生高精度的图像,用于印刷线条、微电路和其他结构。它是一种多功能设备,能够创建各种尺寸的图像,分辨率高达3.7 µm,长宽比高达20:1。步进器既能进行单次浸入,又能进行多次浸入。CANON FPA 5555 iZ适用于多种材料和工艺,包括大批量生产晶圆级基板(CWLS)和包装设备制造。其可靠性和速度使高产生产成为可能。步进器的自动化也确保了快速高效的晶片生产。它具有灵活的对准精度和多种厚度晶片的多模型特性。CANON FPA 5555 iZ具有使用寿命长的LED光源,底座设计低调,提供可靠、曝光一致性。它还具有独特的覆盖/高偏心衍射(HED)功能,可实现极高的覆盖对准精度,而不会损坏或生产吞吐量有限。步进器具有优化的背部扫描仪组成,可显着降低散射噪声并提高图像质量。步进器还配备了高速快门机构,使其能够以广泛的曝光速度工作,从2000 ms min的大射程晶片到1000 Hz的小射程晶片元件。快门的灵活性使得它适用于各种基材和工艺。液晶钞票(LCB)系统可确保先进的曝光调整和色彩管理,从而实现对曝光的更大控制。CANON FPA 5555 iZ还能够产生极细线宽和精确对准精度的覆盖层。步进器还配备了先进的晶圆调平系统,允许精确的晶圆轨迹和倾斜控制。其集成连接器模块与许多标准产品兼容,并具有提供定制解决方桉的能力。该步进器还具有用于监视和控制晶圆曝光过程的综合软件。CANON FPA 5555 iZ是满足各种需求的理想解决方桉,从大型工业的高端生产到小型生产场所。它的设计是可靠的,同时保持低成本和高效率。
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