二手 CANON FPA 5500 iZ #9384056 待售

CANON FPA 5500 iZ是一种光学晶片步进器，旨在为用户提供制造半导体器件的先进可靠平台。该设备是佳能iZ技术的下一代，使其成为业界最先进、效率最高的晶圆步进器。晶圆步进器配备了先进的高分辨率投影工具、集成计量学的高级级和级，以及高容量的光刻源。CANON FPA 5500IZ利用波长为248 nm的DUV KrF激光器和先进的球形光学器件提供高分辨率成像设备。它具有高精度的高级级系统，由细螺距电动机、多维扫描和运动学控制组成。晶圆步进器还具有高容量光刻光源，利用从紫外线到红外的多波长照明，允许长期、可重复、超强的光刻。FPA-5500 IZ还具有集成的缺陷检测、图像镀层和计量功能,为用户提供了一个完整的设备以实现最高质量的设备制造。晶片步进器的所有元件都是模块化和可互换的，允许方便的维护和维修能力。此外,该机器还配备了电子电源和多渠道机电控制,可实现低循环时间和提高吞吐量。FPA 5500 iZ旨在满足最苛刻的半导体生产环境的需求。其高分辨率成像单元和高级阶段提供了出色的成像精度和精确控制。集成的计量、缺陷检测和电镀功能为设备制造提供了完整的解决方桉。最后，其模块化结构和长期可重复光刻机使其成为高批量生产精密器件制造的理想选择。