二手 CANON FPA 5500 iZa #293606898 待售
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ID: 293606898
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa是一种高端芯片成像和光刻设备,为先进的半导体制造而开发。该晶片步进系统是为先进的光刻技术操作和精密晶片映射能力而设计的。其核心特性包括大光场、高通量、低噪声光束扫描,使其能够提供无与伦比的图像和光刻性能。CANON FPA-5500IZA的设计有一个大的照明场,它只有不到20英寸,允许大的模距应用。此大磁场扩展了加工边距,尤其是在加工更大的芯片时。该装置具有高度抗冲击和耐腐蚀的设计,使其能够在恶劣的工业工艺条件下发挥作用。功耗也有所提高,提供了无与伦比的能效。FPA 5500IZA配备高精度、低噪声光束扫描,使其能够处理小批量,对于单层,可以产生微米精确的特征尺寸。这种扫描技术大大降低了晶片上的污染水平,提供了更高精度的清洁工艺。该机还配备了大而有力的扫描流体透镜,使其能够输出高达0.75微米的分辨率,具有20位色深。CANON FPA 5500IZA采用光电晶格,可实现精确放置和精确对准的快速阵列。这项技术还允许不间断编程,因为该工具可以轻松地在大小模式之间切换。此外,资产的高精度对齐功能允许精确的模式定位和可靠性。FPA-5500IZA具有先进的计算机模型和软件,与高级算法集成在一起,使其能够在晶圆上精确地绘制出高分辨率和大场模式。这种设备能够进行先进的光刻,如浸入式光刻,还能使用先进的晶圆成像,如先进的紫外线、X射线和电子束成像。FPA 5500 iZa凭借其高度可靠和节能的设计、先进的成像和光刻能力以及精确的晶圆映射技术,提供了先进的芯片制造和光刻操作,性能无与伦比。
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