二手 CANON FPA 5500 iZa #293606900 待售

CANON FPA 5500 iZa晶片步进器是一种半导体光刻设备，设计用于对高达300 mm的超大型晶片进行制图。该系统具有精确的高级阶段和高分辨率的编码器，最高的精度和先进的单元监控最大吞吐量。该机适用于65 nm节点及以上的次30 nm硅生产生产。该工具利用先进的重离子光刻技术，确保了顶尖的图样精度和迭加性能。分辨率功能范围从0.7 nm线路/空间到15 nm,而覆盖功能范围从1.3 nm到15 nm。先进的重离子光刻有助于提高生产率，提高吞吐量，减少标线变化，减少曝光。CANON FPA-5500IZA晶圆步进器由高性能的监督控制资产CORE GXP 266提供动力,该资产包括基于WindowsCE的操作模型,以实现最大的应用程序灵活性和可扩展性。FPA 5500IZA还具有最先进的投影光学、舞台和探测器系统以及固定的5轴晶圆处理设备。CANON FPA-5500 IZA还具有较高的纯度、热稳定性和减振水平,以实现最高的运行性能。自由扫描模式（Free Scanning Mode，FSM）技术进一步提升了操作性能，使得晶圆曝光可以被扫描，而不需要重新初始化整个步进器。它还具有先进的舞台技术,能够扫描到0.42um/sec,以减少相机曝光时间并提高吞吐量。FPA 5500 iZa是晶片生产领域的领先者,具有先进的光刻性能、超高分辨率和先进的可靠性、准确性和吞吐量。该系统非常适合生产最先进的65nm和45nm半导体节点的复杂设备和阵列。