二手 CANON FPA 5500 iZa #293628566 待售

CANON FPA 5500 iZa是为完成半导体制造任务而设计的晶圆步进器。它配备了有助于促进极其精确的过程的功能。该设备采用激光曝光双成像设备，其中曝光和对准参数可单独管理。CANON FPA-5500IZA提供了高端对准精度,与传统系统相比,测量时间缩短了5倍。此外,它还具有改进的成像系统,该系统具有可调节功率范围的高功率激光。该设备配备了一个先进的舞台平台，可容纳200毫米大小的晶片，并提供+/-1 μ m的运动可重复性。它还配备了CANON专有的Auto-Focus Sensor，允许最快的测量和精确的改变焦点位置。CANON FPA系列有几种功能，如曝光对准和模式确定。其曝光对准特征确保每次曝光都非常精确，其模式确定特征确保所有图桉都能准确确定和对准。该设备还提供了具有4轴校正的倾斜控制单元，以最大程度地减少舞台干扰，自清洁技术，以及简单直观的用户界面。CANON FPA由于能耗低、振动最小、冷却机要求低，对环境的影响较小。它专为紧密集成和方便的网络连接而设计,使其更易于集成到现有系统中。该设备还具有全面的服务和维护支持以及全面的选项和升级。总体而言，FPA 5500IZA是一种高效、精确的晶圆步进器，非常适合半导体制造。它具有高度精确的对齐工具、倾斜控制资产、自清洁技术、低能耗和易于集成到现有系统中。其全面的选项和可升级的范围确保它可以满足任何半导体制造需求。