二手 CANON FPA 5500 iZa #293644154 待售

CANON FPA 5500 iZa是一种最先进的晶圆步进器，又称步进重复机，用于在半导体集成电路上产生高度精确的细线曝光模式。此步进器利用功能强大的iZa Illumination Equipment实现最大的成像性能,提供全方位的反射和透射曝光透镜,以及先进的对准级和先进的电机控制。这种步进器以其激光光束控制的XY级和其双光束曝光头而与众不同。这台机器具有高达800 nm的曝光波长、16 nm的步长和超过30X分辨率,能够提供非常精确的曝光模式,满足最高规格。CANON FPA-5500IZA上直观的人机界面确保了整个曝光过程的平稳高效运行。凭借其易于导航的软件和用户友好的功能选择，操作员将发现它是一个微风加载，对准和暴露晶片与步进和重复转向系统的帮助。同时，图形用户界面提供了过程中每个步骤的可见性，便于实时监控进度和调整参数。FPA 5500IZA提供了一系列令人印象深刻的附件,包括先进的失真测量系统和用于优化图像质量的光束罩。每个光束遮挡器传递不同数量的光，允许在曝光过程中更大的灵活性。还可以添加各种附加的软件和硬件选项,以实现最高的效率和灵活性。为确保最大性能和使用寿命,步进器使用复杂的光学反馈系统和先进的控制算法来最大限度地减少振动,降低功耗并实现更好的曝光均匀性。CANON FPA-5500 IZA设计为全天候运行,其创新的温度控制单元可确保稳定运行和可靠性能。CANON FPA 5500IZA是一种先进的低维护晶圆步进器,具有一流的成像和性能。其高精度的机器确保了卓越的曝光精度，具有快速、可靠和可重复的结果。这一工具继续为高效和具有成本效益的微电子生产设定标准。