二手 CANON FPA 5500 iZa #293754594 待售
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CANON FPA 5500 iZa是为半导体制造而设计的最先进的大型晶圆步进器。即使提供高分辨率阵列,它也能提供出色的吞吐量,同时兼具成本效益和性能。它一次提供单次曝光,具有完整的四维（3D+E）晶圆对齐和四维反馈。为了方便和可靠起见,它的标线固定在盒式装填设备中。CANON FPA-5500IZA具有宽广的5x6mm视野,在标准扫描时间内可提供100倍的加速度,根据标线尺寸,每小时可处理多达17,000个模具。晶圆步进器还具有高性能、高精度的聚焦系统，对准精度为+/-3nm，焦点为1.72um。这提供了极其严格的公差,而不考虑标线和晶圆的大小,从而允许生产可靠和高性能组件。该机操作方式灵活，具有多种优化生产的功能，如多次曝光和自动图像处理。还提供了一个软件套件,其中包含一系列自动选项,用于预先收集、拍摄、验证和历史记录传输。最后，它的自动标线交换单元进一步提高了吞吐量和生产率，能够快速高效地交换标准和步进以及重复标线。FPA 5500IZA是一种优质晶片步进器，由佳能公司设计开发，既提供成本效益又提供性能。它拥有广阔的视野、高性能的聚焦机、灵活的操作方法和各种自动化选项,能够生产出具有高吞吐量和高生产率的可靠组件。
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