二手 CANON FPA 5500 iZa #293799914 待售

CANON FPA 5500 iZa是一种最先进的晶圆步进器，专为各种半导体元件的先进制造而设计。这台机器是大批量生产的理想选择,它提供了一个高负载平台,提高了生产率,并具有卓越的准确性和可重复性。CANON FPA-5500IZA具有集成的双平面对准设备,可以准确、快速、方便地放置各种类型的源基板和目标基板。它的5轴运动平台有2个线性驱动器、两个旋转轴和一个专用于卡盘旋转的轴。该运动平台能够处理各种基板尺寸和形状,能够以微米级精度打印复杂的微小特征。FPA 5500IZA还具有CANON独特的非球面光学系统（AOS）,它能够最大限度地减少像差,从而获得极好的阵列放置精度,提供亚微米的配准和迭加精度。此单元还消除了对专用工具的需求,从而为客户提供了更大的灵活性和控制力。FPA 5500兼容多波长，从157 nm到248nm，可容纳常规、树脂和耐热材料的全方位。激光扫描仪与最大的光圈相结合，可以精确控制光束角度。FPA 5500还可以利用湿度感应机来获得最佳的薄膜条件,并包括在线校正,以保护设备免受环境变化,如气体或蒸气污染。FPA 5500还具有全面的软件套件,能够集成各种设计要求和制造过程,以及自动抵抗开发和薄膜层控制。用户友好的界面允许轻松控制机器,而CANON在线流程教程提供了对分步指令的快速访问。总之,FPA-5500 IZA是大批量生产的首选解决方桉,提供无与伦比的准确性、可重复性和性能。它坚固的运动平台和灵活的参数使其能够容纳广泛的基板、抗性材料和设计要求，从而带来卓越的设备质量和效率。