二手 CANON FPA 5500 iZa #293808358 待售

CANON FPA 5500 iZa是一种顶级晶圆步进器,它为半导体制造提供高生产率和精确成像。它能够每小时产生10,000个5英寸晶圆，能够聚焦纳米范围内的激光束，创造出高度精确的图样。CANON FPA-5500IZA以CANON多镜头技术为基础，将两个镜头结合在一起，减少对焦漂移，以获得更高的精度。FPA 5500IZA采用定制开发的低压变速扫描设备,结合独特的四通道曝光技术,确保无与伦比的精度,即使在高速下也是如此。它支持2.5 µm至0.5 µm的一系列分辨率，与低粘度和溷合含量的抗蚀剂兼容。CANON FPA 5500IZA不仅提供卓越的成像能力,而且还提供可靠和刚性的工作站内置对准系统,以确保准确性。为确保图像质量最高,FPA-5500IZA集成了多种先进技术。智能缺陷检测单元防范颗粒污染等杂质，而高速率曝光补偿机则确保曝光可重复性。激光光束成形器在保持分辨率的同时增加磁场大小，真正的断层扫描技术提供3D曝光控制。此外,CANON FPA-5500 IZA还能够处理单层和多层曝光,从而实现复杂的阵列。为了进一步减少操作员和工程师的麻烦,FPA 5500 iZa提供了一个用户友好的操作界面,包括阶段管理和分析支持工具,如晶圆对齐和剂量映射。此外,它还集成了先进的机架跟踪工具,可帮助组织简化存储,从而提供顶级精密半导体处理所需的动力和灵活性。