二手 CANON FPA 5500 iZa #9113707 待售

CANON FPA 5500 iZa是为大体积光刻应用而设计的高性能晶圆步进器。它是一种高端工具，用于设计先进的半导体集成电路器件，具有极其精确和可重复的成像性能。步进器将先进的激光直接成像技术与高速DMD（数字微镜器件）投影光学器件集成在一起，为步进器件制造提供了一个快速可靠的平台。该平台由先进的DMD投影组件、明亮的UV激光光源以及多个精密的控制系统组成。使用DMD投影组件,步进器可以精确控制整个晶圆的图像宽度,以及每个字段的位置对齐精度和一致性。这确保了图像跨多个晶片的高重复性,并提供了高精度的设备制造。步进器还具有高精度Z轴驱动器控制功能,可实现精确的焦点设置,同时为每个磁场提供更大的曝光范围。这样可以确保在整个曝光区域内的图像质量相等,从而确保在晶圆的所有表面上准确一致地制造设备。CANON FPA-5500IZA配备了用于优化图像分辨率的高精度自动对焦系统,以及用于改进场对场一致性的先进计量标线校正系统。步进器还具有内置的模式识别和配准功能，以加快掩模加载和光学对准。此外，FPA 5500IZA利用先进的热管理技术，确保DMD组件和激光光源的稳定运行，以及光学和光学元件的高效冷却。它还有一个全面的安全系统，以保护用户免受可能的激光引发的事故。为了确保最大程度的可靠性，步进器利用图像传感器和集成电子设备来提高可靠性和延长寿命。CANON FPA 5500IZA还提供了一整套流程管理工具和服务,从而提高了工具的利用率和性能。最后,步进器具有直观的界面和易于使用的软件,以实现更快、更高效的步进器操作。