二手 CANON FPA 5500 iZa #9294138 待售

CANON FPA 5500 iZa是由CANON开发的高端光刻投影步进器。这种先进的光学光刻设备设计用来将晶片上的图桉化层以0.2微米的分辨率曝光，相当于头发宽度的五分之一。FPA 5500释放出0.7的高数值孔径,与传统步进器相比,它能够提高焦点和更高的吞吐量。FPA 5500利用CANON专利的先进iZ PreAlign技术,利用CANON扫描步进器采用的倾斜级,与先进的"VIA2"算法配对,实现晶片图样与步进器曝光平面的精确对准。与传统步进器相比,这允许更高的对齐精度和更高的吞吐量。FPA 5500采用CANON Edge 5500处理器,具有集成控制器IC,可减小机器尺寸,并使用15位ADC/DAC和Wafer-Alignment-Machine （WAM）进行高级蚀刻。与过时的晶片步进器相比,此处理器还可以释放晶片边缘区域的对齐错误。FPA 5500的精确度得到了进一步的维护,它采用了确保晶片牢固固定的高稳定性玻璃真空卡盘,以及采用四面照明器和舞台镜头配置的投影对准器,以最大程度地减少错位。FPA 5500还具有自动对焦系统，利用激光源和对焦检测器精确测量掩模和晶片之间的焦距。此外,FPA 5500还配备了佳能原子成像技术,它允许同时测量6个光轴而不移动,从而提高了曝光剂量的精度。佳能FPA-5500IZA是一种功能强大、最先进的晶圆步进器。这种最先进的光刻设备可实现更高的对准精度和更高的吞吐量,同时提供最大的精度和图样稳定性。