二手 CANON FPA-5500iZe #293758315 待售

CANON FPA-5500iZe是一种高性能晶圆步进器，设计成一种经济实惠、全自动的半导体器件制造解决方桉。FPA-5500iZe具有高分辨率的广域成像设备,最大分辨率为0.25微米,提供了当前可用晶圆步进器的最高分辨率。这样就可以实现无与伦比的精确对准和匹配互补电路。凭借其最先进的变焦光学，佳能FPA-5500iZe还可以容纳各种各样的芯片尺寸，从最小的翻转芯片芯片到最大的大型集成电路。FPA-5500iZe的全自动加载系统使晶圆基板的处理和制备成为可能。步进器的高精度线性驱动电机能够对每个晶片进行精确的直接和半直接配准和自动聚焦扫描。CANON FPA-5500iZe还具有大面积的LED照明功能,可减少总曝光时间、降低总拥有成本并提高设备产量。FPA-5500iZe使用专用的双方向可变螺距晶圆传输单元,可最大程度地减少螺距不匹配并确保精确的晶圆与晶圆对齐。自动晶片对齐可实现全自动晶片定位,从而最大程度地减少了耗时的手动对齐调整。它的高速光圈机可以在站点之间以最小的串扰来实现高速曝光。CANON FPA-5500iZe配备了先进的诊断和过程控制软件，使用户能够提高产量，减少浪费时间，并最大限度地降低污染风险。可选的流程控制软件提供全面而强大的配方驱动的应用程序开发,能够同时运行多个流程。总体而言,FPA-5500iZe是一个高度先进和可靠的晶圆步进器,旨在提供完整、全自动、经济高效的制造过程。其精度和速度使其成为半导体器件制造的绝佳选择。