二手 CANON FPA 5510 iV #293817797 待售

CANON FPA 5510 iV
ID: 293817797
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.18-0.10 Resolution: ≤1000 nm DCO: 300.
CANON FPA 5510 iV是为先进的半导体光刻制造而设计的高功率、高精度的晶圆步进器。它具有尼康cGTO5510晶片级,可提供较短的扫描时间和超精确的小型特征尺寸。FPA 5510 iV具有5.5mm和10微米步进分辨率的小视野,可以轻松处理具有挑战性的任务。步进器利用CANON VME光柱在广泛的动态范围内提供极精细的分辨率和高通量。扫描仪镜像和电动级相结合,创建了一个统一设计的集成设备。这样可以在较小的足迹内实现更快的吞吐量和更高的准确性。CANON FPA 5510 iV配有一个对准系统,具有易于使用的用户界面和高灵敏度的共焦对准单元以及2D无线阵列。步进器还配备了一台具有高达50倍放大倍率的超强放大倍率机,可实现更大深度的聚焦,从而实现更高精度的阵列设计。借助先进的投影工具,FPA 5510 iV可以处理多种基材和0.3微米至10微米的薄膜厚度。资产采用抗蚀剂和掩模沉积技术相结合,以极高的精度创建各种大小和复杂性的模式。对于一个全面的光刻模型,CANON FPA 5510 iV有一个选择的先进功能,以提高生产力。步进器的直观界面允许快速设置,并为快速周转时间提供批处理和配方管理。步进器还与广泛选择的软件兼容,以进一步提升其性能。FPA 5510 iV还提供各种安全功能和空气清洁系统,以确保安全的工作环境。通过内置电离器,步进器可以最大限度地减少微妙组件上的电荷和灰尘堆积,并改善关键过程。CANON FPA 5510 iV晶片步进器为精密光刻应用提供了高度的精度和灵活性。结合尼康cGTO5510晶片级和CANON VME光柱,能够准确、轻松地有效地处理苛刻的任务。步进器先进的放大设备、直观的用户界面、空气清洁系统以及许多其他特殊功能使其成为高需求光刻应用的理想选择。
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