二手 CANON FPA 5510 iX #293636290 待售
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ID: 293636290
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Stepper, 12"
Reticle size: 6"
Overlay accuracy: ≤ 50 nm
Resolution: ≤ 500 nm
Numerical aperture (NA): 0.28 - 0.37
Exposure area: 52 mm x 56 mm
2014 vintage.
CANON FPA 5510 iX是设计制造半导体的晶圆步进器。该机器专为大批量生产而设计,为光刻提供精确、高度集成的解决方桉。CANON FPA-5510IX配备了高效的光源和先进的光学器件,将图像精确传输到半导体晶圆,这是制造过程中的重要组成部分。它具有优化的光学设备,可减少错位并确保精确成像。该系统采用先进的自动对焦特性,能够检测晶圆表面的微小变化,并相应地精确调整焦点。该单元由软件提供动力,该软件可根据所使用晶圆的类型和大小调整成像过程的参数,从而实现更快、更准确的成像。用户友好的界面可以方便地操作和监控步进器的性能。该机配备了数字变焦功能,非常适合减少大型集成半导体设计的微包场缺陷。它还支持可变线距,这对于更高分辨率的设计非常重要。此外,还可以对步进器进行编程以多次扫描区域,从而提高分辨率并降低缺陷率。FPA 5510 iX采用高效散热器和智能冷却机设计,防止过热,降低功耗。它还能够高速运行,从而实现最大吞吐量。由于其先进的光学、自动对焦工具和软件功能,FPA-5510IX被设计为最大的可靠性和大批量生产。步进器是半导体光刻的有效解决方桉,提供快速可靠的成像结果。
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