二手 CANON FPA 5510 iZ #293817795 待售
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ID: 293817795
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57
Resolution: 350 nm
DCO: 30
Throughput (WPH): 160.
CANON FPA 5510 iZ是专为寻求高通量和灵活解决方桉的半导体器件制造商而设计的精密晶圆步进器。这种高速步进器为大型1K至2K标线提供了高的浸入式扫描技术,能够实现高达55nm的功能尺寸。CANON FPA-5510IZ先进的成像能力包括高分辨率成像、先进的缝合以及通过高精度配准的精确调整。步进器的吞吐量高达每小时5,800晶圆,可为用户提供极高的效率。步进器的扫描能力通过高功率变焦光学系统、集成对焦测量以及光子筛和多脉冲技术进一步增强,以实现更高的吞吐量。FPA 5510 iZ还配备了集成数据存储设备,使用户能够存储关键信息(如扫描和标线)。自动化的清洁系统有助于确保设备最佳运行,并保持标线清洁。步进器还配备了智能表面标线映射功能,以确保准确性和可追踪性。FPA-5510IZ还可以手动覆盖专用应用程序的设置。设备的用户界面适应性强,可以支持多种语言。它还带有一个接口远程控制功能,用于远程监视设备的操作。该晶片步进器还配备了一个安全功能,在出现任何异常迹象时自动停止扫描功能。CANON FPA 5510 iZ可以很容易地与其他工具(如曝光系统)集成,为用户创建一个全面的解决方桉。CANON FPA-5510IZ是一种高效且高度可靠的晶圆步进器,旨在满足需要高吞吐量和灵活的解决方桉的半导体制造商的需求。这款强大的高速设备提供精确的成像功能和先进的自动化功能,使用户能够更智能地工作,更轻松地获得所需的结果。
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