二手 CANON FPA 5510 iZ #293818352 待售

CANON FPA 5510 iZ是一种晶圆步进器，旨在为各种集成电路（IC）的生产提供精密光刻。该设备采用了一系列先进的功能,包括0.82的高数值孔径（NA）和防止充电和减少光刻缺陷的苛刻的碱基耐蚀涂层。步进器能够产生极高精度的电路，分辨率高达0.33µm，高NA允许更容易调焦和改进光传输。佳能FPA-5510IZ采用紧凑、无脱落的设计，可最大限度地减少空气污染，减少粉尘进入晶圆表面。其曝光场为6.45英寸（164毫米），能够将精密复杂的图桉投射到晶圆上，精确放置精度小于0.04 µm。获得专利的光学移位系统确保投影模式在曝光之间保持精确对齐,有助于步进器精确制造复杂的设备结构。该系统的对准精度得到其实时、高速自动对焦系统的支持，使其能够快速、准确地获得晶圆熟练度。步进器还设计为用户友好，带有液晶显示屏，便于对各种参数和特性进行目视监控。FPA 5510 iZ由提供有效步进操作的107W LampBoard供电。高频EHX （HF）驱动器设计用于在各种环境条件下提供稳定的对准和模式精度。步进器还配备了专有的ActiveX™图像补偿技术，它提供了灵活性，并确保了模式完整性，而不管环境参数的变化，如湿度和照明。FPA-5510IZ是一种高性能的晶圆步进器,能够生产高精度的高端集成电路。它的非脱落设计有助于确保空气污染最小化，而其强大的高级功能阵列有助于在广泛的工业环境中实现精确的模式和可靠的性能。