二手 CANON FPA 5510 #293648529 待售

CANON FPA 5510晶圆步进器是一种光学驱动的高速光刻工具，用于半导体制造过程。它具有多重晶片处理能力，并配有高分辨率扫描仪和先进的光学器件，以确保光刻过程中晶片上图桉位置的精确对准。FPA 5510是一种最先进的晶圆步进器,可在任何类型的工件上产生高性能和高度精确的图桉。其双轴设备提供高精度、精确度和高通量,为复杂的微米级光刻作业提供了完整的光刻解决方桉。CANON FPA 5510的分辨率约为0.005 um，最大投影面积为640 x 480 mm。它提供高吞吐量,吞吐量速度为每小时80个晶圆。其配件包括精密图桉的FPA-FX2TV和FPA-FX7TV标线选择，以及Dual@@-D Quadra@@-D Optive、Shart@@-Shoot系统等广泛的凹陷和表面对准系统。FPA 5510是一个全自动单元，拥有微处理器控制的操作机器，确保高效准确的操作。它还配备了内置视觉工具，能够高精度检测和测量物体。其控制器具有内置的2D计量资产，软件具有强大的图像处理能力。此外,它的6轴X-Y-Z工件处理模型包括两个移位板、两个旋转和两个倾斜角度。CANON FPA 5510的软件与广泛的晶圆晶圆厂自动化系统兼容，使其能够与各种工艺系统和设备接口。该软件可以让设备同时在多个晶片上进行处理，其系统配置可以轻松调整，以满足不同光刻作业的需要。FPA 5510具有小巧、轻巧的设计,非常稳定、无振动,并且与用户的环境具有最大的兼容性。它具有抗静电放电和高粒子过滤额定值的内置保护、两台风冷电动机和内置安全功能。CANON FPA 5510是一种高度先进的晶圆步进器，是任何微加工或高精度光刻项目的理想选择。它具有高分辨率、准确性和吞吐量的能力,以及先进的功能,使其成为满足任何晶圆处理需求的绝佳选择。