二手 CANON FPA 5550 iZ #293817793 待售

CANON FPA 5550 iZ
ID: 293817793
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57 Resolution: ≤350 nm DCO: 45.
CANON FPA 5550 iZ是一种高度先进的晶圆步进器,专为苛刻的微光刻工艺而设计。这种最先进的步进器提供卓越的成像能力和出色的设备间一致性。它确保晶片与其专有、高度精确的对准设备精确对准。步进器可以在半导体和其他器件上精确地曝光和成像图样,从而实现器件的高精度生产。它专为高速生产超大型基板而设计,确保了无与伦比的吞吐量和生产率。它具有较高的分辨率,最小敏锐度为0.6 μ m,均匀分辨率为0.5 μ m。具有独特的光晕照明系统和先进的自动遮蔽机构,确保了遮罩的精确放置和光刻均匀性。步进器支持多种成像技术,包括多波长曝光和多级自动曝光。它还支持特殊的可重复聚焦功能,能够在不同的基板和各种厚度的薄膜中实现精确聚焦。利用其"XYZ镜头调谐功能",确保精确聚焦,进一步提高成像精度。其优化的多级真空进料装置保证了晶片的平稳、高效和精确的运动。它还提供出色的高速通信功能,数据传输速度高达3.5 MB/s。其专有的、高度精确的图桉匹配机确保了口罩和基板之间图桉的精确匹配,确保了设备与设备之间的完美一致性。而且,这种先进的设备还具有一种用于操纵和定位晶片的高分辨率机器人。步进器设计方便维护,可轻松集成到各种生产线中。其先进的操作能力使其适合多种应用,包括摄影、微电子、医疗器械、微机械和航空航天。简而言之,FPA 5550 iZ是一种高精度晶圆步进器,旨在在要求苛刻的平版印刷过程中提供卓越的效果并确保精度。
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