二手 CANON FPA 6000 AS4 #293752739 待售
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ID: 293752739
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一种晶圆步进器，设计用于各种行业的阵列应用。它有一个大步进表，允许精确对准基片。步进器包括一个先进的空气承载级，它提供了一个平坦、均匀的平面，用于投射到晶圆图样上。利用高性能投影光学设备，该机器能够在制作光刻面罩时提供高度精确的图像分辨率。FPA 6000 AS4的扫描单元有助于减少误配。专利的"同步扫描"功能确保了掩模和晶片之间的紧密同步,提供了卓越的图像精度。该机还配备了佳能先进数字滤波器处理（DF）技术，用于检测和减轻任何泄漏辐射。这有助于确保高级光电应用的最高质量模式精度。步进器配备了自动对准系统，快速、精确地定位最佳对准。此单元有助于确保口罩完全对齐,从而节省生产时间和成本。内置测量机有助于检测重迭，在较短的时间内产生更准确的结果。CANON FPA 6000 AS4的低维护设计有助于最大限度地提高正常运行时间。步进器每天最多可运行24小时,包括一个灵活的运行计划器,可帮助保持生产的高效和平稳运行。各种维护工具,例如基于AI的工具,用于检测违规行为并报告错误,进一步有助于确保平稳运行。FPA 6000 AS4还包括一系列旨在提高安全性的功能。SafeMode可确保生产仅在预定义的时间范围内进行,从而提高操作安全性并消除故障风险。最后，步进器配备了过滤器替换警告资产，有助于防止灰尘颗粒渗入模型。总体而言,CANON FPA 6000 AS4是一种高级晶圆步进器,旨在为阵列设计应用提供高精度和精确度。它具有空气承载阶段、高级图像投影、同步扫描、集成对准设备、低维护设计和安全功能,使其能够在各种应用中提供出色的效果。
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